IEEESTEC 17TH (2024), (pp. 177–180)
АУТОР / AUTHOR(S): Marta Stamenković
DOI: 10.46793/IEEESTEC17.177S
САЖЕТАК / ABSTRACT:
Kapacitivni senzori pritiska se sastoje od dve provodne elektrode koje su međusobno odvojene tankim dielektričnim slojem. U MEMS tehnologiji, jedna od elektroda je fiksirana dok se druga nalazi na membrani koja se lako ugiba. Kada se primeni pritisak na senzor, razdaljina između elektroda se menja, što rezultira promenom kapacitivnosti senzora. Analiza funkcionisanja ovog senzora je izvršena putem simulacija u softveru ANSYS Workbench Multiphysics u okviru domena Static Structural. Simulacije omogućavaju da se odrede promene međuelektrodnog rastojanja i maksimalno naprezanje u strukturi pod dejstvom pritiska. Cilj rada je da se na osnovu vrednosti ugibanja pri promeni dimenzija gornje elektrode i rastojanja između elektroda utvrdi geometrija senzora koja je najosetljivija na primenjeni pritisak od 100 MPa.
КЉУЧНЕ РЕЧИ / KEYWORDS:
MEMS kapacitivni senzor pritiska, ANSYS simulacije, relativna promena kapacitivnosti, maksimalno naprezanje
ЛИТЕРАТУРА/ REFERENCES:
- Aneta Prijić, „Projektovanje mikrosistema – Slajdovi sa predavanja“, Univerzitet u Nišu, Elektronski fakultet 2024.
- Vesna Paunović, “Tehnologije mikrosistema – Literatura”, Univerzitet u Nišu, Elektronski fakultet, 2024.
- ANSYS Workbench – Dostupno na: https://www.ansys.com/products/ansys-workbench
- Kapacitivni sezori pritiska – Dostupno na: https://www.automatika.rs/baza-znanja/senzori/kapacitivni-senzor.html