Analiza funkcionisanja MEMS kapacitivnog senzora pritiska primenom softverskog paketa ANSYS
IEEESTEC 17TH (2024), (pp. 177–180) АУТОР / AUTHOR(S): Marta Stamenković Download Full Pdf DOI: 10.46793 САЖЕТАК / ABSTRACT: Kapacitivni senzori pritiska se sastoje od dve provodne elektrode koje su međusobno odvojene tankim dielektričnim slojem. U MEMS tehnologiji, jedna od…